クリーン ルームは、空気の濾過、分配、最適化、建設資材、装置を備え、浮遊粒子の濃度を制御して適切なレベルの粒子清浄度を達成するための操作手順の特定のルールが適用される部屋として定義されます。

クリーンルームのテストは、汚染のない研究と製造、および効率的な運用と経済的節約を達成するために不可欠です。 半導体、フラット パネル ディスプレイ、メモリ ドライブのメーカーには非常に高い要件があり、バイオテクノロジー企業、製薬会社、医療機器メーカー、医療施設、および製品の製造、保管、テストを行うその他の組織は法律で規制されています。 クリーン ルームで扱われるデリケートな技術には細心の注意が必要です。たとえば、ほんの一粒の塵でも半導体の微細な電子部品を破壊する可能性があります。 制御された環境を維持するために、クリーン ルームは ISO、IEST、GMP 規格で規制されている濾過空気で加圧され、次の方法と装置を使用して毎年テストされます。

高効率フィルター漏れ検出

清潔さ

浮遊菌と沈降菌

風速と風量

温度と湿度

圧力差

浮遊粒子

ノイズ

イルミネーションなど

クリーンルーム試験の関連規格を具体的に参照できます。

1、パーティクルカウンター

清浄度はクリーン ルームの重要な指標であり、空気中の粉塵粒子の濃度を指します。 空気中の粒子の測定は、クリーンルーム設定に不可欠です。

粒子カウンターは理想的なツールです。 これらの高感度デバイスは、指定されたサイズの微粒子がいくつ存在するかを指標化します。 ほとんどのカウンターは粒子サイズの許容しきい値に合わせて調整できます。 この実践は、管理された環境を維持し、製品や機器を汚染から保護するために不可欠です。 粒子計数の実行方法のプロセスは ISO 14644-3 で定義されています。

2、HEPAフィルター漏れテスター

HEPA フィルターの漏れテストは、汚染物質を除去し、クリーン ルーム内に存在する粒子の指定レベルを確立する高効率微粒子阻止 (HEPA) フィルターに漏れがあるかどうかを判断するために実行されます。 HEPA フィルター テストは光度計を使用して実行され、ユーザーは汚染粒子を透過する可能性のあるピンホール リークをスキャンできます。 光度計は、標準光源と比較して未知の光源の光の強度を測定します。 ISO 14644-3 と CGMP はどちらも HEPA フィルターの漏れテストを義務付けています。