Ein Reinraum ist definiert als ein Raum mit Luftfilterung, -verteilung, -optimierung, Baumaterialien und Geräten, in dem spezifische Regeln für Betriebsabläufe zur Steuerung der Konzentration luftgetragener Partikel gelten, um das entsprechende Maß an Partikelreinheit zu erreichen.

Das Testen von Reinräumen ist unerlässlich, um eine kontaminationsfreie Forschung und Fertigung sowie einen effizienten Betrieb und finanzielle Einsparungen zu erreichen. Hersteller von Halbleitern, Flachbildschirmen und Speicherlaufwerken haben extrem hohe Anforderungen, und Biotech- und Pharmaunternehmen, Hersteller medizinischer Geräte, Gesundheitseinrichtungen und andere Organisationen, die ihre Produkte herstellen, lagern und testen, unterliegen gesetzlichen Vorschriften. Die sensiblen Technologien, mit denen in Reinräumen gearbeitet wird, erfordern sorgfältige Wachsamkeit – ein einziges Staubkorn kann beispielsweise die mikroskopisch kleinen elektronischen Komponenten eines Halbleiters zerstören. Um eine kontrollierte Umgebung aufrechtzuerhalten, werden Reinräume mit gefilterter Luft unter Druck gesetzt, durch ISO-, IEST- und GMP-Standards reguliert und jährlich mit den folgenden Methoden und Geräten getestet.

Hocheffiziente Filterleckerkennung

Sauberkeit

Schwimmende und sich ansiedelnde Bakterien

Luftgeschwindigkeit und Volumen

Temperatur und Luftfeuchtigkeit

Druckunterschied

Schwebeteilchen

Lärm

Beleuchtung usw.

Im Einzelnen kann auf die einschlägigen Normen zur Reinraumprüfung verwiesen werden.

1, Partikelzähler

Sauberkeit ist der Schlüsselindikator für Reinräume und bezieht sich auf die Konzentration von Staubpartikeln in der Luft. Die Messung von Partikeln in der Luft ist für eine Reinraumumgebung unerlässlich.

Partikelzähler sind das ideale Werkzeug; Diese hochempfindlichen Geräte messen, wie viele Partikel einer bestimmten Größe vorhanden sind. Die meisten Zähler können auf den zulässigen Schwellenwert der Partikelgrößen eingestellt werden. Diese Vorgehensweise ist für die Aufrechterhaltung einer kontrollierten Umgebung und den Schutz von Produkten oder Geräten vor Kontamination von entscheidender Bedeutung. Der Prozess, wie die Partikelzählung durchgeführt werden sollte, ist in ISO 14644-3 definiert.

2, HEPA-Filterlecktester

Mit HEPA-Filter-Leckagetests wird festgestellt, ob es Undichtigkeiten in den HEPA-Filtern (High Efficiency Particulate Arrestance) gibt, die Verunreinigungen entfernen und einen bestimmten Partikelgehalt im Reinraum festlegen. HEPA-Filtertests werden mit Photometern durchgeführt, die es dem Benutzer ermöglichen, nach Lochlecks zu suchen, die Schadstoffpartikel übertragen könnten. Ein Photometer misst die Lichtintensität einer unbekannten Quelle im Vergleich zu einer Standardquelle. Sowohl ISO 14644-3 als auch CGMP schreiben Dichtheitsprüfungen für HEPA-Filter vor.