ห้องสะอาด หมายถึง ห้องที่มีการกรองอากาศ การกระจายตัว การเพิ่มประสิทธิภาพ วัสดุก่อสร้าง และอุปกรณ์ โดยมีกฎเกณฑ์เฉพาะของขั้นตอนการปฏิบัติงานเพื่อควบคุมความเข้มข้นของอนุภาคในอากาศเพื่อให้ได้ระดับความสะอาดของอนุภาคที่เหมาะสม

การทดสอบห้องปลอดเชื้อถือเป็นสิ่งสำคัญเพื่อให้บรรลุผลการวิจัยและการผลิตที่ปราศจากสิ่งปนเปื้อน ตลอดจนการดำเนินงานที่มีประสิทธิภาพและการประหยัดทางการเงิน ผู้ผลิตเซมิคอนดักเตอร์ จอแบน และไดรฟ์หน่วยความจำมีความต้องการที่สูงมาก และบริษัทเทคโนโลยีชีวภาพและเภสัชกรรม ผู้ผลิตอุปกรณ์ทางการแพทย์ สถานพยาบาล และองค์กรอื่นๆ ที่ผลิต จัดเก็บ และทดสอบผลิตภัณฑ์ของตนอยู่ภายใต้การควบคุมของกฎหมาย เทคโนโลยีที่มีความละเอียดอ่อนซึ่งได้รับการจัดการในห้องปลอดเชื้อจำเป็นต้องอาศัยความระมัดระวัง เช่น ฝุ่นเพียงจุดเดียวมีศักยภาพที่จะทำลายส่วนประกอบอิเล็กทรอนิกส์ระดับจุลภาคของเซมิคอนดักเตอร์ เพื่อรักษาสภาพแวดล้อมที่มีการควบคุม ห้องสะอาดจะได้รับแรงดันอากาศกรอง ซึ่งควบคุมโดยมาตรฐาน ISO, IEST และ GMP และทดสอบเป็นประจำทุกปีด้วยวิธีและอุปกรณ์ต่อไปนี้

การตรวจจับการรั่วไหลของตัวกรองประสิทธิภาพสูง

ความสะอาด

แบคทีเรียลอยตัวและตกตะกอน

ความเร็วลมและปริมาตร

อุณหภูมิและความชื้น

ความแตกต่างของความดัน

อนุภาคแขวนลอย

เสียงรบกวน

การส่องสว่าง เป็นต้น

สามารถอ้างอิงเฉพาะกับมาตรฐานที่เกี่ยวข้องสำหรับการทดสอบห้องคลีนรูมได้

1, เครื่องนับอนุภาค

ความสะอาดเป็นตัวบ่งชี้สำคัญสำหรับห้องสะอาด ซึ่งหมายถึงความเข้มข้นของฝุ่นละอองในอากาศ การวัดอนุภาคในอากาศถือเป็นสิ่งสำคัญสำหรับสภาพแวดล้อมในห้องสะอาด

เครื่องนับอนุภาคเป็นเครื่องมือในอุดมคติ อุปกรณ์ที่มีความไวสูงเหล่านี้จะจัดทำดัชนีว่ามีอนุภาคตามขนาดที่ระบุจำนวนเท่าใด ตัวนับส่วนใหญ่สามารถปรับได้ตามเกณฑ์ที่อนุญาตของขนาดอนุภาค แนวทางปฏิบัตินี้มีความสำคัญต่อการรักษาสภาพแวดล้อมที่ได้รับการควบคุมและปกป้องผลิตภัณฑ์หรืออุปกรณ์จากการปนเปื้อน กระบวนการที่ควรดำเนินการนับอนุภาคกำหนดไว้ใน ISO 14644-3

2, เครื่องทดสอบการรั่วไหลของตัวกรอง HEPA

การทดสอบการรั่วไหลของตัวกรอง HEPA ดำเนินการเพื่อตรวจสอบว่ามีการรั่วไหลในตัวกรองกักเก็บอนุภาคประสิทธิภาพสูง (HEPA) ซึ่งจะขจัดสิ่งปนเปื้อนและสร้างระดับอนุภาคที่ระบุที่ปรากฏในห้องสะอาดหรือไม่ การทดสอบตัวกรอง HEPA ดำเนินการด้วยโฟโตมิเตอร์ ซึ่งช่วยให้ผู้ใช้สามารถสแกนหารอยรั่วของรูเข็มที่อาจส่งผ่านอนุภาคปนเปื้อนได้ โฟโตมิเตอร์จะวัดความเข้มแสงของแหล่งที่ไม่รู้จักโดยเปรียบเทียบกับแหล่งมาตรฐาน ISO 14644-3 และ CGMP กำหนดให้มีการทดสอบการรั่วไหลของตัวกรอง HEPA