エアロゾル光度計の動作原理

HEPAフィルターの漏れ検出には、エアロゾル光度計を用いた試験がよく知られています。今日は、 ZR-6012 エアロゾル光度計 検出原理を説明するための例として、以下を示します。

エアロゾル光度計 ミー散乱原理に基づいて設計されており、0.1～700μmの範囲の粒子を効果的に検出できます。高効率フィルターの漏れを検出する際には、 エアロゾル発生器発生器は様々なサイズのエアロゾル粒子を放出し、その後、光度計の走査ヘッドを用いてフィルターを検出します。このようにして、高効率フィルターの漏洩率を検出することができます。

空気の流れは光散乱室に送られ、流れの中の粒子は光電子増倍管に散乱されます。光は光電子増倍管内で電気信号に変換されます。増幅およびデジタル化後、マイクロコンピュータによって解析され、散乱光の強度が測定されます。信号を比較することで、流れの中の粒子濃度が得られます。警報音が鳴った場合（漏洩率が0.01%を超えた場合）、漏洩が発生していることを示します。

高効率フィルターの漏れを検出する際には、 エアロゾル発生器様々なサイズのエアロゾル粒子を放出し、必要に応じてエアロゾル濃度を調整して、上流側の濃度が10～20μg/mlになるようにします。その後、エアロゾル光度計が粒子質量の濃度を検出し、表示します。