Bii o ṣe le ṣe idanwo ni imunadoko ati ṣetọju iyasọtọ yara mimọ rẹ
Idanwo yara mimọ jẹ pataki fun aridaju ibamu, mimu didara ọja, aabo awọn ilana ifura, aabo ilera ati ailewu, iṣapeye awọn iṣẹ ṣiṣe, fifipamọ awọn idiyele, ati kikọ igbẹkẹle alabara. Idanwo deede ati pipe ṣe iranlọwọ rii daju pe yara mimọ rẹ tẹsiwaju lati pade mimọ mimọ ati awọn iṣedede iṣakoso ayika, nikẹhin ṣe atilẹyin aṣeyọri ati iduroṣinṣin ti awọn iṣẹ rẹ.
Idanwo yara mimọ rẹ ni ibamu si ISO 14644 pẹlu ọpọlọpọ awọn igbesẹ alaye lati rii daju pe o pade awọn iyọọda kika patiku pataki fun isọdi rẹ. Eyi ni itọsọna okeerẹ kan.
1. Ni oye ISO 14644 Standards
TS EN ISO 14644-1 asọye ipin ti mimọ afẹfẹ nipasẹ ifọkansi patiku.
ISO 14644-2: Ṣeto ibojuwo lati ṣafihan ifaramọ tẹsiwaju pẹlu ISO 14644-1.
2. Igbaradi fun Idanwo
Ṣe ipinnu Isọdi Yara mimọ: Ṣe idanimọ iyasọtọ ISO pato (fun apẹẹrẹ, Kilasi ISO 5) ti o wulo si yara mimọ rẹ.
Ṣeto Awọn ipo Iṣapẹẹrẹ: Ni ibamu si iwọn mimọ ati isọdi, pinnu nọmba ati awọn ipo ti awọn aaye iṣapẹẹrẹ.
3. Yan ati calibrate Equipment
Patiku CounterLo iṣiro patiku ti o ni iwọn ati ifọwọsi ti o lagbara lati wiwọn awọn iwọn patiku ti o nilo (fun apẹẹrẹ, ≥0.1 µm tabi ≥0.3 µm).
Ṣayẹwo iwọntunwọnsi: Rii daju pe counter patiku jẹ iwọntunwọnsi gẹgẹbi fun awọn iṣeduro olupese lati ṣe iṣeduro awọn wiwọn deede.
4. Ṣeto Awọn ipo iṣapẹẹrẹ
Nọmba ti Awọn ipo Iṣapẹẹrẹ: Tọkasi ISO 14644-1, eyiti o pese awọn itọnisọna lori nọmba awọn aaye iṣapẹẹrẹ ti o da lori agbegbe mimọ. Ṣayẹwo tabili A.1 ni boṣewa.
Fun awọn yara mimọ nla ati awọn agbegbe mimọ (1000㎡) , kan ilana atẹle lati ṣe iṣiro awọn ipo iṣapẹẹrẹ to kere julọ.
NLjẹ nọmba ti o kere julọ ti awọn ipo iṣapẹẹrẹ lati ṣe iṣiro, ti yika si nọmba ti o tẹle.
A ni agbegbe ti awọn cleanroom ni m2.
Samisi Awọn aaye Iṣapẹẹrẹ: Isamisi ni kedere awọn ipo laarin yara mimọ nibiti awọn ayẹwo yoo gba.
5. Ṣeto iwọn didun ayẹwo kan fun ipo
Lo agbekalẹ atẹle lati ṣe iṣiro iwọn didun ayẹwo.
Vsjẹ iwọn iwọn ayẹwo kan ti o kere ju fun ipo kan, ti a fihan ni awọn liters;
Cn,mni awọn kilasi iye to (nọmba ti patikulu fun onigun mita) fun awọn tobi kà patiku iwọn pàtó kan fun awọn ti o yẹ kilasi.
20jẹ nọmba awọn patikulu ti o le ka ti ifọkansi patiku ba wa ni opin kilasi.
6. Ṣe idanwo naa
Iwọn Iwọn Awọn patikulu: Ni aaye idanwo kọọkan, lo counter patiku lati wiwọn ifọkansi ti awọn patikulu afẹfẹ.
Ilana Wiwọn:
Ayẹwo fun akoko kan pato ni aaye kọọkan.
Ṣe igbasilẹ nọmba awọn patikulu fun awọn sakani iwọn oriṣiriṣi.
Atunṣe Ayẹwo: Ṣe awọn wiwọn pupọ ni aaye kọọkan lati ṣe akọọlẹ fun iyipada ati rii daju pe aitasera.
7. Data Analysis ati lafiwe
Ṣe itupalẹ data: Ṣe afiwe awọn iṣiro patiku ti o gbasilẹ lodi si awọn opin ti a sọ pato ni ISO 14644-1 fun kilasi mimọ.
Awọn ibeere gbigba: Rii daju pe awọn iṣiro patiku fun ipo kọọkan ati iwọn iwọn ko kọja awọn opin idasilẹ.
8. Iwe
Mura Iroyin kan: Kọ gbogbo ilana idanwo naa silẹ, pẹlu:
a. orukọ ati adirẹsi ti agbari idanwo, ati ọjọ ti idanwo naa ti ṣe.
b. Nọmba ati ọdun ti ikede ti apakan yii ti ISO 14644, ie ISO 14644-1: 2015
c. idanimọ ti o han gbangba ti ipo ti ara ti yara mimọ tabi agbegbe mimọ ti idanwo (pẹlu itọkasi awọn agbegbe ti o wa nitosi ti o ba jẹ dandan),
ati awọn apẹrẹ pato fun awọn ipoidojuko ti gbogbo iṣapẹẹrẹ)
d. awọn ibeere yiyan ti a sọ fun yara mimọ tabi agbegbe mimọ, pẹlu nọmba Kilasi ISO, awọn ipinlẹ ibugbe ti o yẹ, ati
kàiwọn patikulu (awọn).
e. awọn alaye ọna idanwo ti a lo, pẹlu awọn ipo pataki eyikeyi ti o jọmọ idanwo naa, tabi awọn ilọkuro lati ọna idanwo, ati idanimọ ti
idanwoirinse ati ijẹrisi isọdọtun lọwọlọwọ, ati awọn abajade idanwo, pẹlu data ifọkansi patiku fun gbogbo awọn ipo iṣapẹẹrẹ.
9. Awọn iyapa adirẹsi
Ṣewadii Awọn orisun: Ti awọn iṣiro patiku eyikeyi ba kọja awọn opin idasilẹ, ṣe idanimọ awọn orisun ti o pọju ti ibajẹ.
Awọn iṣe Atunse: Ṣiṣe awọn igbese atunṣe, gẹgẹbi imudarasi sisẹ tabi idamo ati idinku awọn orisun ti awọn nkan pataki.
10. Tesiwaju Abojuto
Idanwo igbagbogbo: Ṣeto iṣeto idanwo deede (gbogbo awọn oṣu 6 si 12) lati rii daju ibamu ti nlọ lọwọ pẹlu awọn iṣedede ISO.
Abojuto Ayika: Tẹsiwaju atẹle awọn aye ayika miiran bii iwọn otutu, ọriniinitutu, ati titẹ iyatọ lati ṣetọju
ti aipe cleanroom ipo.