உங்கள் க்ளீன்ரூம் வகைப்பாட்டை எவ்வாறு திறம்பட சோதித்து பராமரிப்பது

இணக்கத்தை உறுதி செய்வதற்கும், தயாரிப்பு தரத்தை பராமரிப்பதற்கும், உணர்திறன் செயல்முறைகளைப் பாதுகாப்பதற்கும், உடல்நலம் மற்றும் பாதுகாப்பைப் பாதுகாப்பதற்கும், செயல்பாடுகளை மேம்படுத்துவதற்கும், செலவுகளைச் சேமிப்பதற்கும் மற்றும் வாடிக்கையாளர் நம்பிக்கையை வளர்ப்பதற்கும் Cleanroom சோதனை இன்றியமையாதது. வழக்கமான மற்றும் முழுமையான சோதனையானது, உங்கள் க்ளீன்ரூம் கடுமையான தூய்மை மற்றும் சுற்றுச்சூழல் கட்டுப்பாட்டுத் தரங்களைத் தொடர்ந்து பூர்த்தி செய்வதை உறுதிப்படுத்த உதவுகிறது, இறுதியில் உங்கள் செயல்பாடுகளின் வெற்றி மற்றும் ஒருமைப்பாட்டிற்கு ஆதரவளிக்கிறது.

ISO 14644 இன் படி உங்கள் க்ளீன்ரூமைச் சோதிப்பது, அதன் வகைப்பாட்டிற்குத் தேவையான துகள் எண்ணிக்கை கொடுப்பனவுகளைச் சந்திக்கிறதா என்பதை உறுதிப்படுத்த பல விரிவான படிகளை உள்ளடக்கியது. இதோ ஒரு விரிவான வழிகாட்டி.

1. ISO 14644 தரநிலைகளைப் புரிந்து கொள்ளுங்கள்

ISO 14644-1: துகள் செறிவு மூலம் காற்று தூய்மையின் வகைப்படுத்தலை வரையறுக்கிறது.

ISO 14644-2: ISO 14644-1 உடன் தொடர்ந்து இணங்குவதை நிரூபிக்க கண்காணிப்பைக் குறிப்பிடுகிறது.

2. சோதனைக்கான தயாரிப்பு

கிளீன்ரூம் வகைப்பாட்டைத் தீர்மானித்தல்: உங்கள் க்ளீன்ரூமுக்குப் பொருந்தக்கூடிய குறிப்பிட்ட ISO வகைப்பாட்டை (எ.கா., ISO வகுப்பு 5) அடையாளம் காணவும்.

மாதிரி இடங்களை நிறுவவும்: சுத்தம் அறையின் அளவு மற்றும் வகைப்பாட்டின் படி, மாதிரி புள்ளிகளின் எண்ணிக்கை மற்றும் நிலைகளை தீர்மானிக்கவும்.

3. உபகரணங்களைத் தேர்ந்தெடுத்து அளவீடு செய்யவும்

துகள் கவுண்டர்: தேவையான துகள் அளவுகளை (எ.கா. ≥0.1 µm அல்லது ≥0.3 µm) அளவிடும் திறன் கொண்ட அளவீடு செய்யப்பட்ட மற்றும் சரிபார்க்கப்பட்ட துகள் கவுண்டரைப் பயன்படுத்தவும்.

அளவுத்திருத்த சரிபார்ப்பு: துல்லியமான அளவீடுகளுக்கு உத்தரவாதம் அளிக்க உற்பத்தியாளரின் பரிந்துரைகளின்படி துகள் கவுண்டர் அளவீடு செய்யப்படுவதை உறுதிசெய்யவும்.

4. மாதிரி இடங்களை நிறுவுதல்

மாதிரி இடங்களின் எண்ணிக்கை: ISO 14644-1 ஐப் பார்க்கவும், இது சுத்தம் அறை பகுதியின் அடிப்படையில் மாதிரி புள்ளிகளின் எண்ணிக்கை குறித்த வழிகாட்டுதல்களை வழங்குகிறது. அட்டவணை A.1 ஐ தரநிலையில் சரிபார்க்கவும்.

பெரிய சுத்தமான அறைகள் மற்றும் சுத்தமான மண்டலங்களுக்கு (＞1000㎡), குறைந்தபட்ச மாதிரி இடங்களைக் கணக்கிட பின்வரும் சூத்திரத்தைப் பயன்படுத்தவும்.

என்_எல்மதிப்பிடப்பட வேண்டிய மாதிரி இடங்களின் குறைந்தபட்ச எண்ணிக்கை, அடுத்த முழு எண்ணாக வட்டமிடப்படும்.

ஏ மீ இல் உள்ள துப்புரவு அறையின் பரப்பளவு ஆகும்².

மாதிரி புள்ளிகளைக் குறிக்கவும்: மாதிரிகள் எடுக்கப்படும் சுத்தமான அறைக்குள் உள்ள இடங்களைத் தெளிவாகக் குறிக்கவும்.

5. ஒவ்வொரு இடத்திற்கும் ஒரே மாதிரி அளவை அமைக்கவும்

மாதிரி அளவைக் கணக்கிட பின்வரும் சூத்திரத்தைப் பயன்படுத்தவும்.

Vsஒரு இடத்திற்கு குறைந்தபட்ச ஒற்றை மாதிரி தொகுதி, லிட்டரில் வெளிப்படுத்தப்படுகிறது;

சி_n,mதொடர்புடைய வகுப்பிற்குக் குறிப்பிடப்பட்ட மிகப்பெரிய துகள் அளவுக்கான வகுப்பு வரம்பு (கன மீட்டருக்கு துகள்களின் எண்ணிக்கை).

20துகள்களின் செறிவு வர்க்க வரம்பில் இருந்தால் கணக்கிடப்படும் துகள்களின் எண்ணிக்கை.

6. சோதனை நடத்தவும்

   துகள் எண்ணிக்கையை அளவிடவும்: ஒவ்வொரு சோதனை புள்ளியிலும், காற்றில் உள்ள துகள்களின் செறிவை அளவிட துகள் கவுண்டரைப் பயன்படுத்தவும்.

   அளவீட்டு செயல்முறை:

ஒவ்வொரு புள்ளியிலும் ஒரு குறிப்பிட்ட நேரத்திற்கு மாதிரி.

வெவ்வேறு அளவு வரம்புகளுக்கான துகள்களின் எண்ணிக்கையை பதிவு செய்யவும்.

மாதிரி நகலெடுப்பு: மாறுபாட்டைக் கணக்கிட்டு நிலைத்தன்மையை உறுதிப்படுத்த ஒவ்வொரு புள்ளியிலும் பல அளவீடுகளைச் செய்யவும்.

7. தரவு பகுப்பாய்வு மற்றும் ஒப்பீடு

தரவை பகுப்பாய்வு செய்யுங்கள்: சுத்தம் அறை வகுப்பிற்கு ISO 14644-1 இல் குறிப்பிடப்பட்டுள்ள வரம்புகளுடன் பதிவுசெய்யப்பட்ட துகள் எண்ணிக்கையை ஒப்பிடுக.

ஏற்றுக்கொள்ளும் அளவுகோல்கள்: ஒவ்வொரு இடத்துக்கும் துகள்களின் எண்ணிக்கை மற்றும் அளவு வரம்பு அனுமதிக்கப்படும் வரம்புகளை மீறாமல் இருப்பதை உறுதி செய்யவும்.

8. ஆவணம்

     ஒரு அறிக்கையைத் தயாரிக்கவும்: முழு சோதனை செயல்முறையையும் ஆவணப்படுத்தவும், இதில் அடங்கும்:

அ. சோதனை அமைப்பின் பெயர் மற்றும் முகவரி மற்றும் சோதனை நடத்தப்பட்ட தேதி.

பி. ISO 14644 இன் இந்த பகுதியின் எண்ணிக்கை மற்றும் வெளியிடப்பட்ட ஆண்டு, அதாவது ISO 14644-1:2015

c. சுத்தம் செய்யும் அறை அல்லது சுத்தமான மண்டலத்தின் உடல் இருப்பிடத்தின் தெளிவான அடையாளம் (தேவைப்பட்டால் அருகில் உள்ள பகுதிகளைக் குறிப்பிடுவது உட்பட),

மற்றும் அனைத்து மாதிரிகளின் ஒருங்கிணைப்புகளுக்கான குறிப்பிட்ட பெயர்கள்)

ஈ. ISO வகுப்பு எண், தொடர்புடைய ஆக்கிரமிப்பு நிலை(கள்), மற்றும்

கருதப்படுகிறதுதுகள் அளவு(கள்).

இ. பயன்படுத்தப்படும் சோதனை முறையின் விவரங்கள், சோதனை தொடர்பான ஏதேனும் சிறப்பு நிபந்தனைகளுடன், அல்லது சோதனை முறையிலிருந்து வெளியேறுதல் மற்றும் அடையாளம் காணுதல்

சோதனைகருவி மற்றும் அதன் தற்போதைய அளவுத்திருத்த சான்றிதழ் மற்றும் அனைத்து மாதிரி இடங்களுக்கான துகள் செறிவு தரவு உட்பட சோதனை முடிவுகள்.

9. முகவரி விலகல்கள்

ஆதாரங்களை ஆராயுங்கள்: எந்த துகள் எண்ணிக்கையும் அனுமதிக்கப்பட்ட வரம்புகளை மீறினால், மாசுபாட்டின் சாத்தியமான ஆதாரங்களைக் கண்டறியவும்.

திருத்தும் செயல்கள்: வடிகட்டலை மேம்படுத்துதல் அல்லது நுண்துகள்களின் மூலங்களைக் கண்டறிந்து தணித்தல் போன்ற திருத்த நடவடிக்கைகளைச் செயல்படுத்துதல்.

10. தொடர் கண்காணிப்பு

வழக்கமான சோதனை: ISO தரநிலைகளுடன் தொடர்ந்து இணங்குவதை உறுதிசெய்ய வழக்கமான சோதனை அட்டவணையை (ஒவ்வொரு 6 முதல் 12 மாதங்களுக்கும்) அமைக்கவும்.

சுற்றுச்சூழல் கண்காணிப்பு: வெப்பநிலை, ஈரப்பதம் மற்றும் வேறுபட்ட அழுத்தம் போன்ற பிற சுற்றுச்சூழல் அளவுருக்களை தொடர்ந்து கண்காணிக்கவும்

உகந்த சுத்தமான அறை நிலைமைகள்.