ඔබේ පිරිසිදු කාමර වර්ගීකරණය ඵලදායි ලෙස පරීක්ෂා කර නඩත්තු කරන්නේ කෙසේද?

අනුකූලතාව සහතික කිරීම, නිෂ්පාදනයේ ගුණාත්මකභාවය පවත්වා ගැනීම, සංවේදී ක්‍රියාවලීන් ආරක්ෂා කිරීම, සෞඛ්‍යය සහ ආරක්ෂාව ආරක්ෂා කිරීම, මෙහෙයුම් ප්‍රශස්ත කිරීම, පිරිවැය ඉතිරි කිරීම සහ පාරිභෝගික විශ්වාසය ගොඩනැගීම සඳහා පිරිසිදු කාමර පරීක්ෂාව ඉතා වැදගත් වේ. ඔබේ පිරිසිදු කාමරය දැඩි පිරිසිදුකම සහ පාරිසරික පාලන ප්‍රමිතීන් අඛණ්ඩව සපුරාලීම සහතික කිරීම සඳහා නිතිපතා සහ සම්පූර්ණ පරීක්‍ෂණයක් උපකාරී වේ, අවසානයේදී ඔබේ මෙහෙයුම්වල සාර්ථකත්වයට සහ අඛණ්ඩතාවට සහාය වේ.

ISO 14644 අනුව ඔබේ පිරිසිදු කාමරය පරීක්ෂා කිරීම එහි වර්ගීකරණය සඳහා අවශ්‍ය අංශු ගණන් කිරීමේ දීමනා සපුරාලීම සහතික කිරීම සඳහා සවිස්තරාත්මක පියවර කිහිපයක් ඇතුළත් වේ. මෙන්න විස්තීරණ මාර්ගෝපදේශයක්.

1. ISO 14644 ප්‍රමිති තේරුම් ගන්න

ISO 14644-1: අංශු සාන්ද්‍රණය අනුව වායු පිරිසිදුකම වර්ගීකරණය නිර්වචනය කරයි.

ISO 14644-2: ISO 14644-1 සමඟ අඛණ්ඩව අනුකූල වීම ප්‍රදර්ශනය කිරීම සඳහා නිරීක්ෂණ නියම කරයි.

2. පරීක්ෂණ සඳහා සූදානම් වීම

Cleanroom වර්ගීකරණය නිර්ණය කරන්න: ඔබේ පිරිසිදු කාමරයට අදාළ වන විශේෂිත ISO වර්ගීකරණය (උදා, ISO පන්තිය 5) හඳුනා ගන්න.

නියැදි ස්ථාන ස්ථාපිත කරන්න: පිරිසිදු කාමර ප්‍රමාණය සහ වර්ගීකරණය අනුව, නියැදි ස්ථාන ගණන සහ ස්ථාන තීරණය කරන්න.

3. උපකරණ තෝරා ක්රමාංකනය කරන්න

අංශු කවුන්ටරය: අවශ්‍ය අංශු ප්‍රමාණය (උදා, ≥0.1 µm හෝ ≥0.3 µm) මැනීමේ හැකියාව ඇති ක්‍රමාංකනය කළ සහ වලංගු අංශු කවුන්ටරයක් ​​භාවිතා කරන්න.

ක්රමාංකන පරීක්ෂාව: නිවැරදි මිනුම් සහතික කිරීම සඳහා නිෂ්පාදකයාගේ නිර්දේශ අනුව අංශු කවුන්ටරය ක්රමාංකනය කර ඇති බවට සහතික වන්න.

4. නියැදි ස්ථාන පිහිටුවීම

නියැදීම් ස්ථාන ගණන: පිරිසිදු කාමර ප්‍රදේශය මත පදනම්ව නියැදි ස්ථාන ගණන පිළිබඳ මාර්ගෝපදේශ සපයන ISO 14644-1 වෙත යොමු වන්න. A.1 වගුව සම්මතයෙන් පරීක්ෂා කරන්න.

විශාල පිරිසිදු කාමර සහ පිරිසිදු කලාප සඳහා (＞1000㎡), අවම නියැදි ස්ථාන ගණනය කිරීමට පහත සූත්‍රය යොදන්න.

එන්_එල්යනු ඇගයීමට ලක් කළ යුතු අවම නියැදි ස්ථාන සංඛ්‍යාව වන අතර එය ඊළඟ සම්පූර්ණ සංඛ්‍යාව දක්වා වට කර ඇත.

ඒ m හි පිරිසිදු කාමරයේ ප්රදේශය වේ².

නියැදීම් ලකුණු කරන්න: පිරිසිදු කාමරය තුළ සාම්පල ලබා ගන්නා ස්ථාන පැහැදිලිව සලකුණු කරන්න.

5. එක් ස්ථානයකට තනි නියැදි පරිමාවක් ස්ථාපිත කරන්න

නියැදි පරිමාව ගණනය කිරීමට පහත සූත්‍රය භාවිතා කරන්න.

එදිරිවඑක් ස්ථානයකට අවම තනි නියැදි පරිමාව, ලීටර් වලින් ප්‍රකාශිත වේ;

සී_n,mඅදාළ පන්තිය සඳහා නිශ්චිතව දක්වා ඇති විශාලතම සලකා බලන ලද අංශු ප්‍රමාණය සඳහා පන්ති සීමාව (ඝන මීටරයකට අංශු ගණන) වේ.

20අංශු සාන්ද්‍රණය පන්ති සීමාවේ තිබුනේ නම් ගණන් කළ හැකි අංශු ගණන වේ.

6. පරීක්ෂණය පවත්වන්න

   අංශු ගණන මැනීම: එක් එක් පරීක්ෂණ ලක්ෂ්‍යයේදී, වාතයේ අංශු සාන්ද්‍රණය මැනීමට අංශු කවුන්ටරය භාවිතා කරන්න.

   මිනුම් ක්රියාවලිය:

එක් එක් ලක්ෂ්‍යයේ නිශ්චිත කාලයක් සඳහා නියැදිය.

විවිධ ප්‍රමාණ පරාසයන් සඳහා අංශු ගණන සටහන් කරන්න.

නියැදි අනුකරණය: විචල්‍යතාවය සහ අනුකූලතාව සහතික කිරීම සඳහා එක් එක් ලක්ෂ්‍යයේ බහු මිනුම් සිදු කරන්න.

7. දත්ත විශ්ලේෂණය සහ සංසන්දනය

දත්ත විශ්ලේෂණය කරන්න: පිරිසිදු කාමර පන්තිය සඳහා ISO 14644-1 හි දක්වා ඇති සීමාවන්ට එරෙහිව වාර්තාගත අංශු ගණන සසඳන්න.

පිළිගැනීමේ නිර්ණායක: එක් එක් ස්ථානය සහ ප්‍රමාණ පරාසය සඳහා අංශු ගණන අවසර ලත් සීමාවන් නොඉක්මවන බවට සහතික වන්න.

8. ලේඛනගත කිරීම

     වාර්තාවක් සකස් කරන්න: සම්පූර්ණ පරීක්ෂණ ක්‍රියා පටිපාටිය ලේඛනගත කරන්න, ඇතුළුව:

a. පරීක්ෂණ සංවිධානයේ නම සහ ලිපිනය සහ පරීක්ෂණය සිදු කළ දිනය.

ආ. ISO 14644 හි මෙම කොටස ප්‍රකාශනය කළ අංකය සහ වර්ෂය, එනම් ISO 14644-1:2015

c. පරීක්ෂා කරන ලද පිරිසිදු කාමරයේ හෝ පිරිසිදු කලාපයේ භෞතික පිහිටීම පිළිබඳ පැහැදිලි හඳුනා ගැනීම (අවශ්‍ය නම් යාබද ප්‍රදේශ වෙත යොමු කිරීම ඇතුළුව),

සහ සියලු නියැදීම් වල ඛණ්ඩාංක සඳහා නිශ්චිත තනතුරු)

ඈ ISO පන්ති අංකය, අදාළ පදිංචි තත්ත්වය(ය) ඇතුළුව පිරිසිදු කාමරය හෝ පිරිසිදු කලාපය සඳහා නිශ්චිත තනතුරු නිර්ණායක

සැලකේඅංශු ප්රමාණය(ය).

ඊ. පරීක්ෂණයට අදාළ කිසියම් විශේෂ කොන්දේසි සහිතව භාවිතා කරන ලද පරීක්ෂණ ක්‍රමයේ විස්තර, හෝ පරීක්ෂණ ක්‍රමයෙන් පිටවීම් සහ හඳුනාගැනීම

පරීක්ෂණයඋපකරණය සහ එහි වත්මන් ක්‍රමාංකන සහතිකය, සහ සියලුම නියැදි ස්ථාන සඳහා අංශු සාන්ද්‍රණ දත්ත ඇතුළුව පරීක්ෂණ ප්‍රතිඵල.

9. ලිපින අපගමනය

මූලාශ්‍ර විමර්ශනය කරන්න: කිසියම් අංශු ගණනකට අවසර දිය හැකි සීමාවන් ඉක්මවන්නේ නම්, දූෂණය වීමේ විභව මූලාශ්‍ර හඳුනා ගන්න.

නිවැරදි කිරීමේ ක්‍රියා: පෙරීම වැඩිදියුණු කිරීම හෝ අංශු ද්‍රව්‍ය ප්‍රභවයන් හඳුනා ගැනීම සහ අවම කිරීම වැනි නිවැරදි කිරීමේ ක්‍රියාමාර්ග ක්‍රියාත්මක කරන්න.

10. අඛණ්ඩ අධීක්ෂණය

නිත්‍ය පරීක්ෂණ: ISO ප්‍රමිතීන් සමඟ අඛණ්ඩව අනුකූල වීම සහතික කිරීම සඳහා නිතිපතා පරීක්ෂණ කාලසටහනක් (සෑම මාස 6 සිට 12 දක්වා) ස්ථාපිත කරන්න.

පාරිසරික අධීක්‍ෂණය: නඩත්තු කිරීම සඳහා උෂ්ණත්වය, ආර්ද්‍රතාවය සහ අවකල පීඩනය වැනි අනෙකුත් පාරිසරික පරාමිතීන් අඛණ්ඩව අධීක්ෂණය කරන්න

ප්රශස්ත පිරිසිදු කාමර කොන්දේසි.