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クリーンルームの分類を効果的にテストし維持する方法
クリーンルームテストは、コンプライアンスの確保、製品の品質の維持、機密性の高いプロセスの保護、健康と安全の保護、運用の最適化、コストの削減、顧客の信頼の構築に不可欠です。 定期的かつ徹底的なテストにより、クリーンルームが引き続き厳しい清浄度および環境管理基準を満たしていることが確認され、最終的には業務の成功と完全性がサポートされます。
ISO 14644 に従ってクリーンルームをテストするには、分類に必要な粒子数許容値を満たしていることを確認するためのいくつかの詳細な手順が含まれます。 ここに包括的なガイドがあります。
1. ISO 14644規格を理解する
ISO 14644-1: 粒子濃度による空気清浄度の分類を定義します。
ISO 14644-2: ISO 14644-1 への継続的な準拠を実証するためのモニタリングを指定します。
2. テストの準備
クリーンルームの分類を決定する: クリーンルームに適用される特定の ISO 分類 (ISO クラス 5 など) を特定します。
サンプリング場所の確立: クリーンルームのサイズと分類に従って、サンプリングポイントの数と位置を決定します。
3. 機器の選択と校正
パーティクルカウンター: 必要な粒子サイズ (たとえば、≥0.1 μm または ≥0.3 μm) を測定できる、校正および検証済みの粒子カウンターを使用します。
校正チェック: 正確な測定を保証するために、粒子カウンターがメーカーの推奨に従って校正されていることを確認してください。
4. サンプリング場所の確立
サンプリング場所の数: クリーンルームエリアに基づくサンプリングポイントの数に関するガイドラインを提供する ISO 14644-1 を参照してください。 標準の表 A.1 を確認してください。
大規模なクリーンルームおよびクリーンゾーン（＞1000㎡）の場合は、以下の計算式を適用して最小サンプリング位置を計算します。
NL評価するサンプリング位置の最小数で、次の整数に切り上げられます。
あ クリーンルームの面積 (m)2。
サンプリングポイントをマークする: サンプルが採取されるクリーンルーム内の場所を明確にマークします。
5. 場所ごとに単一のサンプル量を確立する
サンプル量を計算するには、次の式を使用します。
対リットル単位で表される、場所ごとの最小単一サンプル量です。
Cん、ん関連するクラスに指定された最大考慮粒子サイズのクラス制限 (立方メートルあたりの粒子数) です。
20粒子濃度がクラス限界に達した場合にカウントできる粒子の数です。
6. テストの実施
粒子数の測定: 各テストポイントで、粒子カウンターを使用して浮遊粒子の濃度を測定します。
測定プロセス:
各ポイントで指定された時間のサンプルを採取します。
さまざまなサイズ範囲の粒子の数を記録します。
サンプルの複製: 変動を考慮して一貫性を確保するために、各ポイントで複数の測定を実行します。
7. データの分析と比較
データの分析: 記録された粒子数を ISO 14644-1 で指定されたクリーンルーム クラスの制限と比較します。
許容基準: 各位置およびサイズ範囲の粒子数が許容限度を超えていないことを確認します。
8. ドキュメント
レポートの準備: 以下を含むテスト手順全体を文書化します。
ａ． 試験機関の名前と住所、試験が実施された日付。
b. ISO 14644 のこの部分、つまり ISO 14644-1:2015 の発行番号と発行年
c. テストされたクリーンルームまたはクリーンゾーンの物理的な位置の明確な識別（必要に応じて隣接するエリアへの参照を含む）、
すべてのサンプリングの座標に対する特定の指定)
d. クリーンルームまたはクリーンゾーンに指定された指定基準（ISO クラス番号、関連する占有状態、および
考慮された粒子サイズ。
e. 使用された試験方法の詳細、試験に関連する特別な条件、または試験方法からの逸脱、および問題の特定
テスト機器とその現在の校正証明書、およびすべてのサンプリング場所の粒子濃度データを含むテスト結果。
9. 住所の逸脱
発生源を調査する: 粒子数が許容限度を超えている場合は、潜在的な汚染源を特定します。
是正措置: 濾過の改善や粒子状物質の発生源の特定と軽減などの是正措置を実施します。
10. 継続的なモニタリング
定期的なテスト: 定期的なテスト スケジュール (6 ～ 12 か月ごと) を確立して、ISO 規格への継続的な準拠を確保します。
環境モニタリング: 温度、湿度、差圧などの他の環境パラメータを継続的にモニタリングして維持します。
最適なクリーンルーム条件。