የንፁህ ክፍል ምደባዎን እንዴት በብቃት እንደሚፈትሹ እና እንደሚጠብቁ
የንፁህ ክፍል ሙከራ ተገዢነትን ለማረጋገጥ፣ የምርት ጥራትን ለመጠበቅ፣ ሚስጥራዊነት ያላቸውን ሂደቶች ለመጠበቅ፣ ጤናን እና ደህንነትን ለመጠበቅ፣ ስራዎችን ለማሻሻል፣ ወጪዎችን ለመቆጠብ እና የደንበኛ እምነትን ለመገንባት አስፈላጊ ነው። መደበኛ እና ጥልቅ ሙከራ የጽዳት ክፍልዎ ጥብቅ ንፅህናን እና የአካባቢ ቁጥጥር መስፈርቶችን ማሟላቱን ለማረጋገጥ ይረዳል፣ በመጨረሻም የስራዎትን ስኬት እና ታማኝነት ይደግፋል።
በ ISO 14644 መሰረት የንፅህና ክፍልዎን መፈተሽ ለምደባው አስፈላጊ የሆኑትን የቅንጣት ቆጠራ አበል ማሟላቱን ለማረጋገጥ በርካታ ዝርዝር ደረጃዎችን ያካትታል። አጠቃላይ መመሪያ እነሆ።
1. የ ISO 14644 ደረጃዎችን ይረዱ
TS EN ISO 14644-1 የአየር ንፅህናን በንጥል ማተኮር መለየትን ይገልጻል ።
ISO 14644-2፡ የ ISO 14644-1 ቀጣይ ተገዢነትን ለማሳየት ክትትልን ይገልጻል።
2. ለሙከራ ዝግጅት
የንፁህ ክፍል ምደባን ይወስኑ፡ ለጽዳት ክፍልዎ የሚመለከተውን የ ISO ምደባ (ለምሳሌ ISO ክፍል 5) ይለዩ።
የናሙና ቦታዎችን ያቋቁሙ፡ በንፁህ ክፍል መጠን እና ምደባ መሰረት የናሙና ነጥቦችን ቁጥር እና ቦታ ይወስኑ።
3. መሳሪያዎችን ምረጥ እና አስተካክል
ቅንጣት ቆጣሪየሚፈለጉትን የቅንጣት መጠኖች (ለምሳሌ፡ ≥0.1 µm ወይም ≥0.3 µm) ለመለካት የሚያስችል የተስተካከለ እና የተረጋገጠ የቅንጣት ቆጣሪ ይጠቀሙ።
የመለኪያ ፍተሻ፡ ለትክክለኛ መለኪያዎች ዋስትና ለመስጠት የቅንጣት ቆጣሪው በአምራቹ ምክሮች መሰረት መስተካከልን ያረጋግጡ።
4. የናሙና ቦታዎችን ማዘጋጀት
የናሙና ቦታዎች ብዛት፡- ISO 14644-1 ይመልከቱ፣ ይህም በንፁህ ክፍል አካባቢ ላይ በመመርኮዝ የናሙና ነጥቦች ብዛት ላይ መመሪያ ይሰጣል። ሰንጠረዡን A.1 በመደበኛነት ያረጋግጡ.
ለትልቅ የጽዳት ክፍሎች እና ንፁህ ዞኖች (1000㎡) ዝቅተኛውን የናሙና ቦታዎችን ለማስላት የሚከተለውን ቀመር ያመልክቱ።
ኤንኤልየሚገመገመው ዝቅተኛው የናሙና ሥፍራዎች ብዛት እስከሚቀጥለው ጠቅላላ ቁጥር ድረስ ይጠቀለላል።
ሀ በ m ውስጥ የንፁህ ክፍል አካባቢ ነው2.
የናሙና ነጥቦችን ምልክት ያድርጉ፡ በንፁህ ክፍል ውስጥ ናሙና የሚወሰድባቸውን ቦታዎች በግልጽ ምልክት ያድርጉ።
5. በየቦታው ነጠላ ናሙና መጠን ያዘጋጁ
የናሙናውን መጠን ለማስላት የሚከተለውን ቀመር ይጠቀሙ።
Vsበአንድ ቦታ ዝቅተኛው ነጠላ ናሙና መጠን ነው, በሊትር ይገለጻል;
ሲn,ኤምለሚመለከተው ክፍል ለተገለጸው ትልቁ ግምት ቅንጣት መጠን የክፍል ገደብ (የቅንጣዎች ብዛት በኩቢ ሜትር) ነው።
20የንጥሉ መጠን በክፍል ገደብ ላይ ከሆነ ሊቆጠሩ የሚችሉ የንጥሎች ብዛት ነው.
6. ፈተናውን ያካሂዱ
የቅንጣት ብዛት ይለኩ፡ በእያንዳንዱ የፍተሻ ነጥብ የአየር ወለድ ቅንጣቶችን መጠን ለመለካት ቅንጣቢ ቆጣሪውን ይጠቀሙ።
የመለኪያ ሂደት;
በእያንዳንዱ ነጥብ ላይ ለተወሰነ ጊዜ ናሙና.
ለተለያዩ የመጠን ክልሎች የንጥቆችን ብዛት ይመዝግቡ።
የናሙና ማባዛት: ተለዋዋጭነትን ለመለካት እና ወጥነትን ለማረጋገጥ በእያንዳንዱ ነጥብ ላይ ብዙ ልኬቶችን ያከናውኑ።
7. የመረጃ ትንተና እና ማነፃፀር
መረጃን ተንትን፡ የተቀዳውን የንጥል ቆጠራን በ ISO 14644-1 ለጽዳት ክፍል ከተገለጹት ገደቦች ጋር ያወዳድሩ።
የመቀበያ መስፈርቶች፡ ለእያንዳንዱ ቦታ ቅንጣቢው የሚቆጠር መሆኑን እና የመጠን ክልሉ ከሚፈቀደው ገደብ እንደማይበልጥ ያረጋግጡ።
8. ሰነዶች
ሪፖርት አዘጋጁ፡ አጠቃላይ የፈተናውን ሂደት መዝግበው፡-
ሀ. የሙከራ ድርጅቱ ስም እና አድራሻ, እና ፈተናው የተካሄደበት ቀን.
ለ. የዚህ ISO 14644 ክፍል የታተመበት ቁጥር እና ዓመት ፣ ማለትም ISO 14644-1: 2015
ሐ. የንጹህ ክፍል አካላዊ አቀማመጥ ወይም የተሞከረው የንጹህ ዞን አካላዊ ቦታ ግልጽ የሆነ መለያ (አስፈላጊ ከሆነ አጎራባች ቦታዎችን ጨምሮ)
እና ለሁሉም ናሙናዎች መጋጠሚያዎች ልዩ ስያሜዎች)
መ. የ ISO ክፍል ቁጥርን ጨምሮ ለንጹህ ክፍል ወይም ለንጹህ ዞን የተገለጹት መስፈርቶች
ግምት ውስጥ ይገባልየቅንጣት መጠን(ዎች)።
ሠ. ጥቅም ላይ የዋለው የፈተና ዘዴ ዝርዝሮች፣ ከሙከራው ጋር በተያያዙ ማናቸውም ልዩ ሁኔታዎች፣ ወይም ከሙከራ ዘዴው መነሳት እና የፈተናውን መለየት
ፈተናመሳሪያ እና አሁን ያለው የመለኪያ ሰርተፊኬት፣ እና የፈተና ውጤቶቹ፣ ለሁሉም የናሙና ቦታዎች ቅንጣት ማጎሪያ መረጃን ጨምሮ።
9. የአድራሻ ልዩነቶች
ምንጮችን መርምር፡ ማንኛውም ቅንጣት ቆጠራ ከሚፈቀደው ገደብ በላይ ከሆነ የብክለት ምንጮችን ለይ።
የማስተካከያ እርምጃዎች፡ እንደ ማጣሪያ ማሻሻል ወይም የንጥረ ነገር ምንጮችን መለየት እና መቀነስ ያሉ የማስተካከያ እርምጃዎችን ይተግብሩ።
10. ተከታታይ ክትትል
መደበኛ ሙከራ፡ የ ISO ደረጃዎችን ቀጣይነት ባለው መልኩ መከበራቸውን ለማረጋገጥ መደበኛ የፍተሻ መርሃ ግብር (በየ 6 እስከ 12 ወሩ) ያዘጋጁ።
የአካባቢ ክትትል፡ እንደ የሙቀት መጠን፣ እርጥበት እና የመጠበቅ ልዩነት ያሉ ሌሎች የአካባቢ መለኪያዎችን በተከታታይ ይቆጣጠሩ
ምርጥ የንጽሕና ሁኔታዎች.